功能：通過化學腐蝕剝離石英管/石英舟全表面臟污，噴淋去除石英管/石英舟表面酸殘留，快速沉浸去除清洗后的石英管/石英舟水分殘留。

設備采用模式：自動浸泡、定時移槽、干進干出、上下料位由專用載具、裝載卸載由人工手動完成。