晶圓制造加工工藝繁雜,有著許多工藝流程,不同的工藝流程中應(yīng)用了不同的的化工材料,一般 會(huì)在晶圓表面上殘存化學(xué)物質(zhì)、顆粒物、金屬材料等雜質(zhì),如果不盡快清理干凈,會(huì)隨著生產(chǎn)制造漸漸積累,影響到最終的品質(zhì)。在晶圓制造加工工藝中,通常存有5個(gè)清理步驟,分別是顆粒物清除清理、刻蝕后清理、預(yù)擴(kuò)散清理、金屬離子清除清理和薄膜清除清理。所以,在清理加工工藝的基礎(chǔ)上,清洗設(shè)備變成了制造發(fā)展的核心。